Системы дисковой резки серии ADT 7120 и ADT 7130

shliker

Установки дисковой резки ADT 7120/7130

Области применения установок дисковой резки серии ADT 7120 и ADT 7130:

  • Разделение керамических подложек или подложек керамических корпусов
  • Резка тонкоплёночных и гибридных модулей
  • Резка пластин: GaAs, сапфир, кремний, другие полупроводниковые материалы
  • Резка стекла и кремния на стекле
  • Резка пластин с МЭМС/НЭМС-компонентами
  • Резка пластин со светодиодными компонентами
  • Резка пластин с оптоэлектронными компонентами
  • Резка пластин с интегральными схемами
  • Резка печатных плат

Установка дисковой резки ADT 7122:

Рабочая область: 200х200 мм2
Шпиндель: на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 1,2 кВт, опционально 2,4 кВт
Диаметр лезвия: 2″ и 3″

Установка дисковой резки ADT 7124:

Рабочая область: 200х200 мм2
Шпиндель: на воздушной подушке, 30 000 об/мин, 2,5 кВт
Диаметр лезвия: 4″ и 5″

Установка дисковой резки ADT 7132:

Рабочая область: 300х300 мм2
Шпиндель: на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 1,2 кВт, опционально 2,4 кВт
Диаметр лезвия: 2″ и 3″

Установка дисковой резки ADT 7134:

Рабочая область: 300х300 мм2
Шпиндель: на воздушной подушке, 30 000 об/мин, 2,5 кВт
Диаметр лезвия: 4″ и 5″

Общие характеристики:

Разрешение по оси Y: 0,1 мкм
Суммарная точность по оси Y: 1,5 мкм
Скорость перемещения по оси X: до 600 мм/с
Ход по оси Z: 50 мм
Разрешение по оси Z: 0,2 мкм
Точность по оси Z: 2,0 мкм
Повторяемость по оси Z: 1,0 мкм
Оптическая система: Цифровая камера, сверхъяркая светодиодная подсветка (вертикальная и под углом), цифровое увеличение от X55 до X210 (стандартно) или от X35 до X140 (опционально)

Габариты: 965 мм x 1300 мм x 1600 мм (ШхГхВ)
Масса: 900 кг
Электропитание: 200-240 В переменного тока, 50/60 Гц, одна фаза
Сжатый воздух: 260 л/мин, давление 5,5 бар
Вода для охлаждения шпинделя: 1,1 л/мин
Процессная вода: до 3 л/мин

Скачать оригинальную брошюру на установки дисковой резки серии ADT 7120/7130 на английском языке.