Автоматические установки дисковой резки ADT 7220
Области применения автоматических установок дисковой резки серии ADT 7220:
- Резка кремниевых пластин
- Резка стекла и кремния на стекле
- Резка пластин с МЭМС/НЭМС-компонентами
- Резка GaAs пластин
- Разделение корпусов BGA и QFN типа
- Резка LTCC керамики
- Резка печатных плат
- Резка твердых материалов
Установка дисковой резки ADT 7222:
Размер рабочей области:
ADT 7222-200: диаметр до 200 мм
ADT 7222-300: диаметр до 300 мм или 253 х 243 мм2
Шпиндель: на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 1,2 кВт
Диаметр лезвия: 2″ и 3″
Установка дисковой резки ADT 7223:
Размер рабочей области:
ADT 7223-200: диаметр до 200 мм или 212 х 142 мм2
ADT 7223-300: диаметр до 300 мм или 253 х 243 мм2
Шпиндель: на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 2,4 кВт
Диаметр лезвия: 2″ и 3″
Установка дисковой резки ADT 7224:
Размер рабочей области:
ADT 7224-200: диаметр до 200 мм
Шпиндель: на воздушной подушке, 30 000 об/мин, 2,5 кВт
Диаметр лезвия: 4″ и 5″
Общие характеристики для серии 7220:
Разрешение по оси Y: 0,1 мкм
Суммарная точность по оси Y: 1,5 мкм для пластин диаметром до 200 мм
Суммарная точность по оси Y: 3,0 мкм для пластин диаметром до 300 мм
Скорость перемещения по оси X: до 600 мм/с
Разрешение по оси Z: 0,2 мкм
Повторяемость по оси Z: 0,2 мкм
Поворот рабочего стола: до 350°
Оптическая система: Цифровая камера, сверхъяркая светодиодная подсветка (вертикальная и под углом), цифровое увеличение от X70 до X280 (стандартно) или от X50 до X200 (опционально)
Встроенная система отмывки
Скорость вращения: от 100 об/мин до 2000 об/мин
Метод очистки: спреевая очистка
Встроенная система загрузки пластин
Доступные опции:
Детектор поломки режущих дисков;
Система монтажа на плёнку и снятия разрезанных пластин с плёнки;
Станция заточки режущих дисков;
Станция УФ-облучения для снижения адгезии к плёнке-носителю;
Устройство отвода электростатического заряда;
Считыватель штрих-кодов;
Поворот рабочего столика на 360°;
SECS-GEM интерфейс.
Габариты:
ADT 7220-200: 965 мм x 1460 мм x 1700 мм (ШхГхВ)
ADT 7220-300: 1100 мм x 1785 мм x 1700 мм (ШхГхВ)
Масса:
ADT 7220-200: 1200 кг
ADT 7220-300: 1350 кг
Электропитание: 200-240 В переменного тока, 50/60 Гц, одна фаза
Сжатый воздух: 700 л/мин, давление 5,5 бар
Вода для охлаждения шпинделя: 1,1 л/мин
Процессная вода: до 7 л/мин