Автоматические системы дисковой резки серии ADT 7200

Автоматические установки дисковой резки ADT 7220

Области применения автоматических установок дисковой резки серии ADT 7220:

  • Резка кремниевых пластин

  • Резка стекла и кремния на стекле

  • Резка пластин с МЭМС/НЭМС-компонентами

  • Резка GaAs пластин

  • Разделение корпусов BGA и QFN типа

  • Резка LTCC керамики

  • Резка печатных плат

  • Резка твердых материалов

Установка дисковой резки ADT 7222:

Размер рабочей области:

ADT 7222-200: диаметр до 200 мм

ADT 7222-300: диаметр до 300 мм или 253 х 243 мм2

Шпиндель: на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 1,2 кВт

Диаметр лезвия: 2" и 3"

Установка дисковой резки ADT 7223:

Размер рабочей области:

ADT 7223-200: диаметр до 200 мм или 212 х 142 мм2

ADT 7223-300: диаметр до 300 мм или 253 х 243 мм2

Шпиндель: на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 2,4 кВт

Диаметр лезвия: 2" и 3"

Установка дисковой резки ADT 7224:

Размер рабочей области:

ADT 7224-200: диаметр до 200 мм

Шпиндель: на воздушной подушке, 30 000 об/мин, 2,5 кВт

Диаметр лезвия: 4" и 5"

Общие характеристики для серии 7220:

Разрешение по оси Y: 0,1 мкм

Суммарная точность по оси Y: 1,5 мкм для пластин диаметром до 200 мм

Суммарная точность по оси Y: 3,0 мкм для пластин диаметром до 300 мм

Скорость перемещения по оси X: до 600 мм/с

Разрешение по оси Z: 0,2 мкм

Повторяемость по оси Z: 0,2 мкм

Поворот рабочего стола: до 350°

Оптическая система: Цифровая камера, сверхъяркая светодиодная подсветка (вертикальная и под углом), цифровое увеличение от X70 до X280 (стандартно) или от X50 до X200 (опционально)

 

Встроенная система отмывки

Скорость вращения: от 100 об/мин до 2000 об/мин

Метод очистки: спреевая очистка

 

Встроенная система загрузки пластин

 

Доступные опции:

Детектор поломки режущих дисков;

Система монтажа на плёнку и снятия разрезанных пластин с плёнки;

Станция заточки режущих дисков;

Станция УФ-облучения для снижения адгезии к плёнке-носителю;

Устройство отвода электростатического заряда;

Считыватель штрих-кодов;

Поворот рабочего столика на 360°;

SECS-GEM интерфейс.

Габариты:

ADT 7220-200: 965 мм x 1460 мм x 1700 мм (ШхГхВ)

ADT 7220-300: 1100 мм x 1785 мм x 1700 мм (ШхГхВ)

Масса:

ADT 7220-200: 1200 кг

ADT 7220-300: 1350 кг

Электропитание: 200-240 В переменного тока, 50/60 Гц, одна фаза

Сжатый воздух: 700 л/мин, давление 5,5 бар
Вода для охлаждения шпинделя: 1,1 л/мин

Процессная вода: до 7 л/мин

Скачать оригинальную брошюру на автоматическую установку дисковой резки серии ADT 7220 на английском языке.

Please reload

© 2019 ООО «АКМ»