Настольная установка безмасковой литографии ML100
ML100 – это настольная установка безмаскового совмещения и экспонирования для формирования рисунка в слое фоторезиста на пластинах и подложках. Установка использует технологию DMD (Digital Micromirror Device), позволяя уйти от необходимости использования фотошаблонов, что существенно сокращает производственный цикл, а также затраты на производство или исследования. Использование светодиодного источника в установке ML100 позволяет получать идеально гладкие стенки формируемых структур.
Преимущества установки
- Компактный дизайн для настольного применения
- Высокая точность совмещения
- Высокая однородность экспонирования – более 90%
- Автоматическая фокусировка в режиме реального времени
- Долгий срок службы светодиодного источника
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Конфигурация Basic | |
| Размеры подложек | 4” |
| Толщина подложек | 0 – 10 мм |
| Разрешение | 0,8 мкм |
| Точность совмещения | ±0.5 мкм |
| Источник излучения | LED, 405 нм |
| Скорость экспонирования (при разрешении 1 мкм) | 20 мм²/мин |
| Конфигурация Pro | |
| Размеры подложек | 4”, 8” |
| Толщина подложек | 0 – 10 мм |
| Разрешение | 0,5 мкм |
| Точность совмещения | ±0.5 мкм |
| Источник излучения | LED, 405 нм |
| Скорость экспонирования (при разрешении 1 мкм) | 80 мм²/мин |