Оборудование для осаждения тонких пленок:

Термовакуумное распыление Магнетронное распыление

Электроннолучевое осаждение Ионнолучевое осаждение

CVD-процессы

Ионная имплантация

Оборудование для ионного легирования

Жидкостная обработка

Жидкостная обработка пластин и подложек:

Индивидуальная обработка

Групповая обработка

Плазменное травление

Плазменное травление:

Реактивное ионное травление RIE

BOSCH-процесс

Фотолитография

Фотолитографическое оборудование:

Совмещение и экспонирование

Нанесение и проявление фоторезиста

Бондинг и дебондинг пластин

Оборудование для бондинга пластин:

Постоянный бондинг

Временный бондинг и дебондинг пластин

Термическая обработка пластин

Оборудование для термической обработки пластин:

LPCVD печи

RTA печи

RTP печи

Диффузионный отжиг

Восстановительный отжиг

Окислительный отжиг