ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ ПРОИЗВОДСТВО
Оборудование для осаждения тонких пленок:
Термовакуумное распыление Магнетронное распыление
Электроннолучевое осаждение Ионнолучевое осаждение
CVD-процессы

Ионная имплантация
Оборудование для ионного легирования

Жидкостная обработка
Жидкостная обработка пластин и подложек:
Индивидуальная обработка
Групповая обработка

Плазменное травление
Плазменное травление:
Реактивное ионное травление RIE
BOSCH-процесс

Фотолитография
Фотолитографическое оборудование:
Совмещение и экспонирование
Нанесение и проявление фоторезиста

Бондинг и дебондинг пластин
Оборудование для бондинга пластин:
Постоянный бондинг
Временный бондинг и дебондинг пластин

Термическая обработка пластин
Оборудование для термической обработки пластин:
LPCVD печи
RTA печи
RTP печи
Диффузионный отжиг
Восстановительный отжиг
Окислительный отжиг