Установка полуавтоматического монтажа пластин на плёнку-носитель модели ADT 967

07.01.2019

Установка модели ADT 967 зарекомендовала себя как надёжное решение для полуавтоматического монтажа пластин в полупроводниковых производствах по всему миру.

 

Данная модель позволяет проводить быстрый, точный и бездефектный монтаж пластин на плёнку-носитель перед операцией дисковой резки.

 

После введения в эксплуатацию установка монтажа модели ADT 967 обеспечивает экономически выгодный, высококачественный и повторяемый процесс монтажа полупроводниковой пластины на плёнку-носитель для ряда применений. 

 

Решение I

“Бесконтаткный” метод монтажа полупроводниковой пластины на плёнку-носитель для МЭМС применений и чувствительных к касанию пластин

 

Монтаж полупроводниковых пластин с нанесёнными микроструктурами или чувствительными покрытиями требует специального решение в виде “бесконтактного” держателя пластины.

 

Пластина на таком держателе фиксируется по своим краям и прижимается к держателю с помощью вакуума. Для того, чтобы пластина не треснула в процессе нанесения плёнки, во время прокатывания валика по поверхности пластины в пространство между пластиной и держателем нагнетается сжатый воздух (Рис. 1).

Рис.1

 

Таким образом с помощью установки монтажа модели ADT 967 и такого держателя можно проводить стабильный, бездефектный монтаж пластин на плёнку носитель.

 

Решение II

Для монтажа тонких пластин GaAs, Si, Ge, а такжедругих пластин 

 

Такие механические свойства ультра-тонких полупроводниковых пластин как хрупкость и коробление могут вызвать трудности при переносе пластин.

Для решения этой задачи компания ADT разработала особый перфорированный держатель с превосходной обработкой рабочей поверхности держателя (Рис.2).

Такой держатель позволяет удерживать сильно коробленые пластины GaAs не повреждая при этом поверхность самой пластины.

Совместно со специализированной оснасткой для перемещения пластин компания ADT предлагает своим клиентам проверенные решения для такого сложного процесса. 

Рис. 2

 

Решение III

Прямой монтаж плёнки носителя на поверхность пластины без использования рамки

 

При необходимости нанести плёнку носитель на поверхность полупроводниковой пластины можно также использовать решение на базе установки ADT модели 967. После нанесения плёнки на пластину специальный нож обходит по контуру пластины и обрезает излишки плёнки. После этого шага пластина готова для дальнейших технологических операций (Рис. 3)

 

 

Рис. 3

 

Подробнее об установке монтажа полупроводниковых пластин на плёнку-носитель модели ADT 967 на читайте нашем сайте в разделе Оборудование.

 

 

Поделиться на Facebook
Please reload

Свежие новости

19.08.2019

Please reload

Архив
Please reload

Поиск по тегам

© 2019 ООО «АКМ»