Жидкостная очистка подложек в ваннах

Системы жидкостной обработки в ваннах SPM

Ручные, полуавтоматические и автоматические решения

Каждя система проектируется исходя из потребностей Заказчика.

Для работы с растворителями обычно применяются компоненты из нержавеющией стали исходя из требований к противопожарной безопасности.

Для работы с кислотами применяются компоненты из корозионно-стойкого пластика.

И в том, и в другом случае применяется наиболее оптимальное сочетание материалов, чтобы предотвратить химическое загрязнение или деградацию материалов, а также обеспечить длительную и безопасную эксплуатацию предлагаемых систем.

 

Системы жидкостной обработки в ваннах SPM 

Ванны для отмывки, химической обработки и сушки разрабатываются с применением современных технологий и материалов.

Системы жидкостной обработки могут быть сконфигурированы для работы с одним или двумя носителями подложек.

Станадртный диаметр подложек варьируется от 75 мм до 200 мм, опционально доступны большие размеры.

Ванны для систем жидкостной обработки SPM могут быть оснащены следующими опциями:

  • Модуль УЗ-очистки

  • Модуль Мега звуковой очистки

  • Модуль быстрой промывки

  • Поворот подложек на 360°

  • Перемещение держателя подложек вверх и вниз с настраиваемой глубиной и частотой

  • Контроль температуры: нагрев и охлаждение

  • Системы рециркуляции с различными типами насосов и регуляторами потока

  • Решения для смешивания реагентов

  • Системы наполнения ванн из систем CDS или использование встроенных бутылей или канистр

  • Обработка пузырями N2

  • Управляемая атмосфера

  • Конденсатор испарений

  • pH-метр

  • Монитор концентрации

  • Редокс-потенциал

  • Измеритель сопротивления

  • Автоматические защитные крышки на ванны

Опции для систем жидкостной обрабокти SPM:

  • Автоматическая система управления вытяжкой

  • Ламинарный поток с HEPA фильтрами

Все системы жидкостной обработки SPM управляются с через ПЛК и сенсорный экран.

Программное обеспечение разработано инженерами компании SPM и обладает соврмененным интерфейсом и полезными опциями:

  • Управление рецептами

  • Сохранение log-файлов

  • Host SECS-GEM интерфейс

Для получения дополнительной информации по системам жидкостной обработки компании S.P.M. s.r.l., Италия обращайтесь к нашим специалистам.

Please reload

© 2019 ООО «АКМ»