Жидкостная очистка подложек в ваннах

Системы жидкостной обработки в ваннах SPM
Ручные, полуавтоматические и автоматические решения
Каждя система проектируется исходя из потребностей Заказчика.
Для работы с растворителями обычно применяются компоненты из нержавеющией стали исходя из требований к противопожарной безопасности.
Для работы с кислотами применяются компоненты из корозионно-стойкого пластика.
И в том, и в другом случае применяется наиболее оптимальное сочетание материалов, чтобы предотвратить химическое загрязнение или деградацию материалов, а также обеспечить длительную и безопасную эксплуатацию предлагаемых систем.
Системы жидкостной обработки в ваннах SPM
Ванны для отмывки, химической обработки и сушки разрабатываются с применением современных технологий и материалов.
Системы жидкостной обработки могут быть сконфигурированы для работы с одним или двумя носителями подложек.
Станадртный диаметр подложек варьируется от 75 мм до 200 мм, опционально доступны большие размеры.
Ванны для систем жидкостной обработки SPM могут быть оснащены следующими опциями:
-
Модуль УЗ-очистки
-
Модуль Мега звуковой очистки
-
Модуль быстрой промывки
-
Поворот подложек на 360°
-
Перемещение держателя подложек вверх и вниз с настраиваемой глубиной и частотой
-
Контроль температуры: нагрев и охлаждение
-
Системы рециркуляции с различными типами насосов и регуляторами потока
-
Решения для смешивания реагентов
-
Системы наполнения ванн из систем CDS или использование встроенных бутылей или канистр
-
Обработка пузырями N2
-
Управляемая атмосфера
-
Конденсатор испарений
-
pH-метр
-
Монитор концентрации
-
Редокс-потенциал
-
Измеритель сопротивления
-
Автоматические защитные крышки на ванны
Опции для систем жидкостной обрабокти SPM:
-
Автоматическая система управления вытяжкой
-
Ламинарный поток с HEPA фильтрами
Все системы жидкостной обработки SPM управляются с через ПЛК и сенсорный экран.
Программное обеспечение разработано инженерами компании SPM и обладает соврмененным интерфейсом и полезными опциями:
-
Управление рецептами
-
Сохранение log-файлов
-
Host SECS-GEM интерфейс
Для получения дополнительной информации по системам жидкостной обработки компании S.P.M. s.r.l., Италия обращайтесь к нашим специалистам.